[发明专利]微机电陀螺仪装置

摘要

谐振器微电子陀螺仪、优选微机电系统（MEMS）陀螺仪包括悬挂用于旋转振动的第一和第二谐振器质量块（1，2）。两个质量块（1，2）被四个机械耦合元件（4，5，6，7）弹性地连接以反相振动。在每个谐振器质量块（1，2）上有至少一个正感测电极和至少一个负感测电极（S11+，S11-，S21+，S21-），用于检测质量块（1，2）的面外输出运动。检测电路被连接到所述正感测电极和负感测电极，并基于下式由信号的差分检测确定输出信号：Sx_out=({S21+}-μ{S11+})–({S21-}-μ{S11-})，其中，S21+}，{S21-}=第二质量块的正检测电极和负检测电极的各感测电极信号；{S11+}，{S11-}=第一质量块的正检测电极和负检测电极的各感测电极信号，μ=补偿因子。

主权项

一种用于检测谐振器微电子陀螺仪、优选微机电系统（MEMS）陀螺仪的输出信号的方法，其包括以下步骤：a）激活悬挂用于旋转震动的第一和第二谐振器质量块（1，2）的振动面内运动，b）通过弹性地连接所述第一和第二谐振器质量块（1，2）以反相振动的至少一个机械耦合元件（4，5，6，7），提供所述第一和第二振动质量块（1，2）的反相振动，其特征在于，c）检测所述两个谐振器质量块（1，2）各自的至少两个正感测电极和两个负感测电极的至少两个正感测电极信号{S21+}、{S11+}和至少两个负感测电极信号{S21‑}、{S11‑}，以检测所述质量块的面外运动，d）基于下式由所述信号的差分检测确定至少一个输出信号Sx_out：Sx_out=({S21+}‑μ{S11+})–({S21‑}‑μ{S11‑})，其中，{S21+}，{S21‑}=第二质量块的正检测电极和负检测电极的各感测电极信号;{S11+}，{S11‑}=第一质量块的正检测电极和负检测电极的各感测电极信号，μ=补偿因子。