[发明专利]具备原料浓度检测结构的原料气化供给装置

摘要

本发明可正确调整载气与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且可在高精度的流量控制下向处理室稳定供料，与此同时可不使用昂贵的浓度计等而简单、高精度地检测混合气体内的原料气体蒸气浓度，实时显示。本发明提供通过质量流量控制器3向来源罐5内供给载气G_K，由来源罐5内释放载气G_K，与此同时将通过恒温部使来源罐5保持恒定温度而产生的原料4的饱和蒸气G与上述载气G_K的混合气体G_S供给至处理室的原料气化供给装置，其中，在来自于上述来源罐5的混合气体G_S的流出通路上设置自动压力调整装置8，与此同时在其下游侧设置质量流量计9，通过开闭控制上述自动压力调整装置8的控制阀8a，将来源罐5的内部压力P₀控制为规定值，将由上述质量流量控制器3所致的载气G_K的流量Q₁、上述罐内压力P₀和上述质量流量计9的混合气体G_S的流量Q_S的各自检测值输入原料浓度运算部10，在该原料浓度运算部10按Q₂=Q_S×P_M0/P₀运算原料流量Q₂(其中，P_M0为来源罐内的温度为t℃时的原料蒸气G的饱和蒸气压)，利用该原料流量Q₂按K=Q₂/Q_S运算、显示供给至上述处理室的混合气体G_S的原料气体蒸气浓度K。

主权项

 具备原料浓度检测结构的原料气化供给装置，其特征在于，为如下结构：在通过质量流量控制器3向来源罐5内供给载气G_K，由来源罐5内释放载气G_K，与此同时将通过恒温部6使来源罐5保持恒定温度而产生的原料4的饱和蒸气G与所述载气G_K的混合气体G_S供给至处理室的原料气化供给装置中，在来自于所述来源罐5的混合气体G_S的流出通路上设置自动压力调整装置8和质量流量计9，通过开闭控制所述自动压力调整装置8的控制阀8a，将来源罐5的内部压力P₀控制为规定值，将由所述质量流量控制器3所致的载气G_K的流量Q₁、所述罐内压力P₀和所述质量流量计9的混合气体G_S的流量Q_S的各自检测值输入原料浓度运算部10，在所述原料浓度运算部10，按Q₂=Q_S×P_M0/P₀计，运算原料流量Q₂，其中，P_M0为来源罐内的温度为t℃时的原料蒸气G的饱和蒸气压，利用所述原料流量Q₂，按K=Q₂/Q_S计，运算、显示供给至所述处理室的混合气体G_S的原料浓度K。