[发明专利]永久磁铁透镜阵列有效
申请号: | 201280040633.4 | 申请日: | 2012-06-25 |
公开(公告)号: | CN103748654B | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 克里斯多夫·西尔斯;迈赫兰·纳赛尔-古德西;哈什亚·沙德曼 | 申请(专利权)人: | 科磊股份有限公司 |
主分类号: | H01J37/143 | 分类号: | H01J37/143 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于带电粒子聚焦的永久磁性透镜阵列,其包含第一软磁性材料薄片,其中所述第一软磁性材料薄片包含布置成阵列图案的多个通气管锥体突出部,其中每一通气管锥体轴向对称且包含从所述第一软磁性材料薄片的第一表面通到软磁性材料的第二表面的开口及多个永久磁性元件,其中每一永久磁性元件轴向对称且与所述第一软磁性材料薄片的通气管锥体同心地布置,其中所述第一软磁性材料薄片的所述通气管锥体及所述多个永久磁性元件经配置以形成多个磁性透镜,其中每一磁性透镜具有磁场,所述磁场具有垂直于所述软磁性材料的所述第一表面定向的轴向分量。 | ||
搜索关键词: | 永久磁铁 透镜 阵列 | ||
【主权项】:
一种用于带电粒子聚焦的永久磁性透镜阵列,其包括:平面体积的永久磁性材料,其中所述平面体积的永久磁性材料包含跨越所述平面体积的所述永久磁性材料的表面分布的多个透镜开口,其中所述平面体积的所述永久磁性材料的所述透镜开口中的每一者轴向对称且从所述平面体积的永久磁性材料的第一表面通到第二表面;及平面体积的软磁性材料,其中所述平面体积的软磁性材料包含跨越所述平面体积的所述软磁性材料的表面分布的多个透镜开口,其中所述平面体积的软磁性材料的每一透镜开口轴向对称且从所述平面体积的软磁性材料的第一表面通到第二表面,其中所述平面体积的软磁性材料可操作地耦合到所述平面体积的所述永久磁性材料的表面,使得所述平面体积的永久磁性材料的所述透镜开口的至少一部分与所述平面体积的软磁性材料的所述透镜开口的至少一部分实质上对准,其中所述平面体积的永久磁性材料及所述平面体积的软磁性材料布置成实质上平面单片式结构,其中所述体积的永久磁性材料的所述多个透镜开口及所述体积的软磁性材料的所述多个透镜开口经配置以形成多个磁性透镜,其中每一磁性透镜具有磁场,所述磁场具有实质上垂直于所述平面体积的所述永久磁性材料的所述第一表面定向的至少一轴向分量。
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