[发明专利]新型化合物有效
申请号: | 201280040595.2 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN103764625A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | 盐田大;黑子麻祐美;野田国宏;田所惠典;赤井泰之;高井英行 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社;株式会社大赛璐 |
主分类号: | C07C235/34 | 分类号: | C07C235/34;C07C235/38;C07D233/60;C07D295/18;C09K3/00;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/085 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
本发明提供适合用于得到能够以低曝光量形成密合性优异的图案的负型感光性树脂组合物的新型化合物。本发明的化合物以下述式(1)表示。式中,R1和R2分别独立地表示氢原子或有机基团,R1和R2中的至少一方表示有机基团。对于R1和R2,它们可以键合而形成环状结构,也可以包含杂原子的键。R3表示单键或有机基团。R4~R9分别独立地表示氢原子、有机基团等,但是,R6和R7不为羟基。R10表示氢原子或有机基团。 |
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搜索关键词: | 新型 化合物 | ||
【主权项】:
1.一种下述式(1)所示的化合物,
式中,R1和R2分别独立地表示氢原子或有机基团,其中,R1和R2中的至少一方表示有机基团;对于R1和R2,它们可以键合而形成环状结构,也可以包含杂原子的键;R3表示单键或有机基团;R4和R5分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、或有机基团;R6、R7、R8和R9分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、或有机基团,其中,R6和R7不为羟基;对于R6、R7、R8和R9,它们中的2个以上可以键合而形成环状结构,也可以包含杂原子的键;R10表示氢原子或有机基团。
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