[发明专利]图像传感器的单位像素及其光电探测器

摘要

公开了一种图像传感器的单位像素及其光电探测器。被配置为吸收光的本发明的光电探测器可以包括：光吸收部件，被配置为通过形成为浮动结构来吸收光；与所述光吸收部件的一个表面接触的氧化物膜；源极，与所述氧化物膜的另一表面的一侧接触，并与所述光吸收部件分离开，其中在所述源极和所述光吸收部件之间具有所述氧化物膜；漏极，面对所述源极以与所述氧化物膜的所述另一表面的另一侧接触，并且与所述光吸收部件分离开，其中在所述漏极和所述光吸收部件之间具有所述氧化物膜；以及在所述源极和漏极之间形成的沟道，被配置为在所述源极和漏极之间形成电流流动。

主权项

一种光电探测器，被配置为在用于将吸收的光变换为电信号的图像传感器的单位像素中吸收光，所述光电探测器包括：光吸收部件，被配置为通过形成为浮动结构而吸收光；与所述光吸收部件的一个表面接触的氧化物膜；源极，与所述氧化物膜的另一表面的一侧接触，并与所述光吸收部件分离开，其中在所述源极和所述光吸收部件之间具有所述氧化物膜；漏极，面对所述源极以与所述氧化物膜的所述另一表面的另一侧接触，并且与所述光吸收部件分离开，其中在所述漏极和所述光吸收部件之间具有所述氧化物膜；以及在所述源极和漏极之间插入的沟道，被配置为在所述源极和漏极之间形成电流流动，其中，所述光吸收部件掺杂有第一类型杂质，所述源极和漏极掺杂有第二类型杂质，其中，所述光吸收部件通过所述氧化物膜而与所述源极和漏极绝缘，其中，通过利用集中在所述氧化物膜中的电场而发生的隧穿现象，由所吸收的光产生的电子‑空穴对中的电子朝向所述源极和漏极移动，并且通过由电子的移动引起的所述光吸收部件的电荷量变化来控制所述沟道的电流的流动，其中，所述光吸收部件由多晶硅形成。