[发明专利]用于清除锯线的污染物的方法和系统

摘要

一种用于超声清洗用于将半导体或太阳能材料（105）切成晶片的线锯（104）的一根或多根锯线（102）的系统（100）。该系统（100）包括与超声波发生器（304）连接的超声波换能器（302）。该系统（100）还包括邻近一根或多根锯线（102）设置的超声波发生器板。该超声波发生器板具有将超声波发生器（304）暴露于一根或多根锯线（102）的开口。该系统（100）还包括用于传输液体流的箱体（202），该液体流用于接触超声波发生器（304）和一根或多根锯线（102）。该箱体（202）设置在锯线（102）的与超声波发生器板相同的一侧。该超声波换能器（302）构造成发生振动并在液体中形成空穴现象，以便清除一根或多根锯线（102）的表面上的污染物。

主权项

一种用于超声清洗线锯的一根或多根锯线的系统，所述线锯用于将半导体或太阳能材料切成晶片，所述系统包括：与超声波发生器连接的超声波换能器；超声波发生器板，所述超声波发生器板邻近所述一根或多根锯线设置，并具有将所述超声波发生器暴露于所述一根或多根锯线的超声波发生器开口；用于输送液体流的箱体，所述液体流用于接触所述超声波发生器和所述一根或多根锯线，所述箱体设置在所述锯线的与所述超声波发生器板相同的一侧；其中，所述超声波换能器构造成发生振动并在液体中形成空穴现象，以便清除所述一根或多根锯线的表面上的污染物。