[发明专利]包含百叶窗的背景减少系统无效
| 申请号： | 201280039957.6 | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN103748483A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 迈赫兰·纳赛尔-古德西;克里斯多夫·西尔斯;罗伯特·海恩斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01T3/00 | 分类号： | G01T3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种背景减少系统可包含但不限于：带电粒子源，其经配置以产生带电粒子束；百叶窗结构，其包含一个或一个以上孔口，所述一个或一个以上孔口经配置以根据带电粒子的入射角而选择性地透射所述带电粒子；及带电粒子检测器，其经配置以接收由所述百叶窗结构选择性地透射的带电粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 百叶窗 背景 减少 系统 | ||
【主权项】：
一种背景减少系统，其包括：带电粒子源，其经配置以产生带电粒子束；及百叶窗结构，其包含一个或一个以上孔口，所述一个或一个以上孔口经配置以根据带电粒子的入射角而选择性地透射所述带电粒子；带电粒子检测器，其经配置以接收由所述百叶窗结构选择性地透射的带电粒子。
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