[发明专利]用于处理蒸气的系统和方法有效
申请号: | 201280038700.9 | 申请日: | 2012-08-01 |
公开(公告)号: | CN103732792A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 克里斯多佛·S·莱恩斯;肯特·T·恩格尔;史蒂文·R·范胡斯;特伦斯·D·斯帕;约瑟夫·M·皮珀;爱德华·J·安德森;瓦尔特·司托斯 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/448 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 沈同全;车文 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了一种用于处理蒸气的系统。所述系统包括用于产生蒸气的蒸气源和联接到所述蒸气源以运送来自所述蒸气源的蒸气的出口导管。在所述蒸气源的下游,所述出口导管分成蒸气旁路导管和蒸气进料导管。所述系统还包括设置在所述旁路导管中的第一蒸气控制阀、设置在所述进料导管中的第二蒸气控制阀、流体地联接到所述旁路导管的第一真空室、和流体地联接到所述进料导管的第二真空室。 | ||
搜索关键词: | 用于 处理 蒸气 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种蒸气处理系统,包括:用于产生蒸气的蒸气源;出口导管,所述出口导管连接到所述蒸气源以运送来自所述蒸气源的蒸气,其中在所述蒸气源的下游,所述出口导管分成蒸气旁路导管和蒸气进料导管;第一蒸气控制阀,所述第一蒸气控制阀设置在所述旁路导管中;第一真空室,所述第一真空室连接到所述旁路导管并且设置在所述第一蒸气控制阀的下游;第二真空室,所述第二真空室连接到所述进料导管;和控制器,所述控制器操作地联接到所述第一蒸气控制阀使得其控制进入所述第一真空室的蒸气流。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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