[发明专利]感光性树脂组合物及膜、图案形成材料、聚酰亚胺膜、凹凸图案及制法、及半导体装置

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物及膜、图案形成材料、聚酰亚胺膜、凹凸图案及制法、半导体装置及树脂，上述感光性树脂组合物具有分辨率及灵敏度优异的微影性能，在所谓的低温固化下应力低，由此可形成防止晶片翘曲的硬化凹凸图案。本发明的感光性树脂组合物含有(a)具有下述通式(1)所表示的重复单元的树脂、及(b)通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物。

主权项

一种感光性树脂组合物，其特征在于含有：(a)具有下述通式(1)所表示的重复单元的树脂、及(b)通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物，所述通式(1)中，R1表示四价有机基；多个R1可彼此相同也可不同；R2表示二价有机基；多个R2可彼此相同也可不同；其中，多个R2中至少一个为含有脂环基的二价有机基；R3分别独立表示氢原子或有机基；其中，多个‑CO2R3中至少一个为通过酸的作用发生分解而产生碱可溶性基的基；具有所述通式(1)所表示的重复单元的树脂(a)为具有下述通式(2)所表示的重复单元、及下述通式(3)所表示的重复单元的树脂，所述通式(2)中，R1'与所述通式(1)中的R1为相同含义；R3'与所述通式(1)中的R3为相同含义；其中，多个‑CO2R3'中至少一个为通过酸的作用发生分解而产生碱可溶性基的基；R4为含有脂环基的二价有机基；所述通式(3)中，R1与所述通式(1)中的R1为相同含义；R3与所述通式(1)中的R3为相同含义；其中，多个‑CO2R3中至少一个为通过酸的作用发生分解而产生碱可溶性基的基；R5为含有芳香族基的二价有机基。