[发明专利]在等离子体腔内生成高度电离的等离子体有效
| 申请号： | 201280037426.3 | 申请日： | 2012-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN103765552B | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | A·克利梅扎克;P·奥济梅克;R·布吉 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;夏青 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 波兰;PL |
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| 摘要： | 一种生成等离子体腔（2）内的高度电离的等离子体的方法，其包括如下步骤：a.在低于50Pa的压强下提供将在等离子体腔（2）内被电离的中性气体；b.向与所述等离子体腔（2）内的靶连接的至少一个磁控管阴极提供至少一个高能、高功率电脉冲，所述电脉冲具有大于或等于100kW的功率，和大于或等于10J的能量，c.直接由等离子体体积内的所述中性气体生成高度电离的等离子体，从而使等离子体体积截面在电流增大时间段期间增大，d.利用所述高度电离的等离子体从靶溅射原子，e.使所溅射的原子的至少一部分电离。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 体腔 生成 高度 电离 等离子体 | ||
【主权项】：
一种在等离子体腔(2，20，46)中生成高度电离的等离子体的方法，所述方法包括如下步骤：a.在低于50Pa的压强下提供将在所述等离子体腔(2，20，46)中被电离的中性气体；b.向与所述等离子体腔(2，20，46)中的靶(5，27)连接的至少一个磁控管阴极(6，24)提供至少一个高能、高功率电脉冲，所述电脉冲具有大于或等于100kW的功率和大于或等于10J的能量；c.无需经历预备等离子体阶段，直接由所述中性气体生成高度电离的等离子体，从而使等离子体体积截面在电流增大时间段期间增大，所述预备等离子体阶段包括弱电离或低电离等离子体阶段、辉光放电阶段和电弧放电阶段；d.利用所述高度电离的等离子体从所述靶(5，27)溅射原子；e.使所溅射的原子的至少一部分电离。
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