[发明专利]溅射靶和溅射方法在审
| 申请号： | 201280037352.3 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN103717782A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 罗纳德·M·帕克;罗伯特·T·罗兹比金 | 申请（专利权）人： | 唯景公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及溅射靶和溅射方法。特定而言，描述溅射靶和对于高度均匀的溅射沉积使用常规溅射靶以及本文中描述的溅射靶的溅射方法。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射靶总成，其包括：(a)背部支撑件；和(b)组装在所述背部支撑件上的两个或多个溅射靶分区，两个或多个溅射靶分区的所述组装界定靶区域，其包括所述两个或多个溅射靶分区之间的任何间隙或接缝；其中所述两个或多个溅射靶分区被构造使得在垂直于所述背部支撑件的表面和／或所述两个或多个溅射靶分区的溅射表面的方向上，在任何所述两个或多个测间没有到所述背部支撑件的视线。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于唯景公司，未经唯景公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280037352.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种油箱总成
- 下一篇：一种燃油传感器的浮子
- 同类专利
- 专利分类
