[发明专利]多叶片节流阀

摘要

本发明涉及用于真空处理室的多叶片节流阀，包括：具有暴露于所述真空处理室的内部和暴露于大气压的外部的节流室主体，所述节流室主体形成用于控制所述真空处理室内的真空的贯通开口；安装在所述贯通开口内以控制气体流过所述贯通开口的多个可旋转叶片，其中每一可旋转叶片包括与其流体连通并沿其纵向设置的冷却流体通路；及设置在所述节流室主体的外部上并与其连接的驱动机构，用于旋转所述多个可旋转叶片以改变工艺气体的流动。

主权项

用于真空处理室的多叶片节流阀，所述阀包括：具有暴露于所述真空处理室的内部和暴露于大气压的外部的节流室主体，所述节流室主体形成用于控制所述真空处理室内的真空的贯通开口；安装在所述贯通开口内以控制气体流过所述贯通开口的多个可旋转叶片，其中每一可旋转叶片包括近端支撑件、远端支撑件和延伸穿过近端支撑件和远端支撑件中的至少一个的冷却流体通路，所述冷却流体通路与每一可旋转叶片流体连通并沿其纵向设置；其中每一可旋转叶片的冷却流体通路在所述节流室主体外面延伸并延伸到具有冷却液供给口和冷却液返回口的旋转适配器内；其中近端支撑件可旋转地连接到旋转适配器，每一旋转适配器暴露于大气压力，及每一可旋转叶片的冷却流体通路通过旋转适配器的冷却液供给口和冷却液返回口与相邻可旋转叶片流体连通，其中冷却流体通路形成通过多个可旋转叶片的连续流路；及设置在所述节流室主体的外部上并与其连接的驱动机构，用于旋转所述多个可旋转叶片以改变工艺气体的流动；所述驱动机构能够同时旋转固定连接到所述多个可旋转叶片的每一近端支撑件的旋转臂。