[发明专利]电子显微镜有效
| 申请号： | 201280035541.7 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN103688335A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 小柏刚;赤津昌弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够安装具有安全性（触电防止机构）且考虑操作性的高电压施加试样架。本发明的特征在于，具有：具有对装填试样的试样台施加电压的功能的试样架、供给要施加在上述试样台的电压的电压源、以及一端与上述试样架连接的电压电缆，并且，连接上述电压电缆的另一端的转接器设置于支撑电子显微镜的镜筒的台架上。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 | ||
【主权项】：
一种电子显微镜，具有电子光学镜筒和支撑该电子光学镜筒的台架，上述电子光学镜筒对试样照射一次电子射线，检测出通过照射该一次电子射线而得到的二次带电粒子并作为图像信号而输出，上述电子显微镜的特征在于，具有：具有放置上述试样的试样台，并具有对该试样台施加电压的功能的试样架；供给施加在上述试样台的电压的电压源；以及一端与上述试样架连接的电压电缆，而且，连接上述电压电缆的另一端的转接器设置于上述台架上。
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