[发明专利]包括加热元件的微型传感器以及与其相关联的制造方法有效
| 申请号： | 201280034778.3 | 申请日： | 2012-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN103717526A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 罗曼·维亚德;阿波德尔克里姆·泰勒比;菲利浦·雅克·潘诺德;阿兰·默伦;弗拉基米尔·普雷奥布拉日恩斯基 | 申请（专利权）人： | 国家科研中心;里尔中央理工学校 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01F1/684;G01F1/688;G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 归莹;张颖玲 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种包括加热元件的微型传感器（1），并且涉及一种与该微型传感器相关联的制造方法。所述传感器（1）包括基板（2）、腔（20）以及热绝缘结构（4），所述热绝缘结构（4）通过连接至该基板（2）的区域（31、32）悬置在腔（20）的上方。本发明的特征在于，热绝缘结构（4）包括延伸越过腔（20）的至少两个桥部（33、34），加热元件通过相对于所述桥部（33、34）横向地延伸而由所述桥部（33、34）支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 加热 元件 微型 传感器 以及 与其 相关 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微型传感器（1、1’、10、100、101），所述微型传感器（1、1’、10、100、101）具有加热元件并且包括基板（2、2’）、腔（20、20’）以及热绝缘结构（3），所述热绝缘结构（3）通过连接所述热绝缘结构（3）与所述基板（2、2’）的连接区域（31、32）悬置在所述腔的上方，所述传感器的特征在于，所述热绝缘结构（3）包括至少两个桥部（33、34），所述至少两个桥部（33、34）延伸越过所述热绝缘结构（3）的两个与所述基板连接的连接区域（31、32）之间的腔（20、20’），加热元件（4、4’）通过相对于所述桥部横向地延伸而由所述桥部（33、34）支撑。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国家科研中心;里尔中央理工学校，未经国家科研中心;里尔中央理工学校许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280034778.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
