[发明专利]无窗电离装置在审
| 申请号： | 201280032020.6 | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN103635989A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | J.E.库利;S.科萨里 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张贵东 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 种电离装置包括：配置成生成等离子体的等离子体源。等离子体包括光、等离子体离子和等离子体电子。等离子体源包括孔径，所述孔径布置成使得光的至少一部分穿过孔径并且入射在气体样本上。电离装置还包括电离区域；以及等离子体偏转装置，所述等离子体偏转装置包括配置成建立电场的多个电极，其中电场基本上防止等离子体离子进入电离区域。 | ||
| 搜索关键词： | 电离 装置 | ||
【主权项】：
一种电离装置，其包括：配置成生成等离子体的等离子体源，所述等离子体包括光、等离子体离子和等离子体电子，所述等离子体源包括孔径，所述孔径布置成使得所述光的至少一部分穿过所述孔径并且入射在气体样本上；电离区域；以及等离子体偏转装置，所述等离子体偏转装置包括配置成建立电场的多个电极，其中所述电场基本上防止所述等离子体离子进入所述电离区域。
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