[发明专利]激光高度测定装置及元件安装机

摘要

本发明提供一种激光高度测定装置，具备：激光高度传感器（6），具有照射激光（L1）的激光照射部（61）和检测由对象物反射的激光的反射光检测部（62）；传感器移动机构（头驱动机构（41～43）），使激光高度传感器（6）在平面内移动；图像相机（元件相机（5）），配置于规定的校正位置（光入射轴（AO）上）；减光镜（71），使激光（1）衰减的同时进行透射；激光拍摄单元，将激光高度传感器（6）定位于校正位置（AO）上而照射激光（L1），由图像相机（5）拍摄透射过减光镜（71）的激光而得到激光图像；及修正值取得单元，基于激光在激光图像上的位置来求出坐标位置的修正值。由此，能够准确地控制测定位置，并且不需要传感器的安装位置调整机构、位置调整作业就能够确保测定位置的控制精度。

主权项

一种激光高度测定装置，具备测定对象物的高度的激光高度传感器和使所述激光高度传感器在平面内移动的传感器移动机构，所述激光高度传感器具有向所述对象物照射激光的激光照射部及检测由所述对象物反射的激光的反射光检测部，所述激光高度测定装置具备：图像相机，配置于由所述传感器移动机构上的平面坐标系表示的规定的校正位置；减光镜，配置在被定位于所述校正位置的所述激光高度传感器的激光照射部与所述图像相机的光入射部之间，使从所述激光照射部向所述光入射部照射的激光衰减的同时进行透射；激光拍摄单元，将所述激光高度传感器定位于所述校正位置，从所述激光照射部向所述光入射部照射所述激光，由所述图像相机拍摄透射过所述减光镜的激光而得到激光图像；及修正值取得单元，基于所述激光在所述激光图像上的位置，来求出由所述传感器移动机构将所述激光高度传感器移动到所述平面坐标系的坐标位置时从所述激光照射部向所述对象物照射的激光在所述平面坐标系中的坐标位置的修正值。