[发明专利]超导薄膜材料和其制造方法有效
| 申请号： | 201280024544.0 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103548100A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 花房庆;本田元气;大木康太郎;中西毅;种子田贤宏;永石龙起 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | H01B12/06 | 分类号： | H01B12/06;H01B13/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李兰;孙志湧 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了表现出优异超导特性的超导薄膜材料和制造该超导薄膜材料的方法。超导薄膜材料（1）包括基板（10）和形成在基板（10）上的超导膜（30）。超导膜（30）包括通过金属有机沉积形成的MOD层（31）和通过气相工艺形成在MOD层（31）上的气相形成层（32）。因此，首先形成MOD层（31），并且随后形成气相形成层（32），因此可以防止由于在形成MOD层（31）的过程中应用的热处理（MOD工艺中的热处理）导致气相形成层（32）的特性劣化。 | ||
| 搜索关键词： | 超导 薄膜 材料 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种超导薄膜材料，包括：基板（10）；以及超导膜（30），所述超导膜（30）形成在所述基板（10）上，所述超导膜（30）包括通过MOD工艺形成的MOD层（31）和通过气相工艺形成在所述MOD层（31）上的气相形成层（32）。
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