[发明专利]使用分层技术形成石墨烯图案的方法和设备

摘要

本发明涉及一种使用分层技术应用聚合物印模的石墨烯图案形成方法。所述技术适合用于形成具有任意目标图案的石墨烯图案。根据本发明，在基质上形成的石墨烯层的一部分使用聚合物印模进行物理地、选择性地分层，以简单容易地在基质上形成具有均匀线宽的所需石墨烯图案。另外，在所述基质上形成的所述石墨烯层的一部分使用旋转体印模或者通过使用具有大面积的印模以辊对辊的方式进行物理地、选择性地分层，以简单容易地在具有大面积的基质上形成具有均匀线宽的所需石墨烯图案。

主权项

一种使用剥离技术形成石墨烯图案层的方法，所述方法包括：在基质上形成石墨烯层；在聚合物印模的图案表面上形成石墨烯剥离层，所述聚合物印模具有压花图案；使所述聚合物印模的图案表面与所述石墨烯层的目标位置对齐，以使彼此接触；和将所述聚合物印模与所述基质分离，以选择性地将附着在所述聚合物印模的各压花图案上的所述石墨烯层部分与所述基质分离，从而形成所述石墨烯图案层。