[发明专利]体声波谐振器有效

专利信息
申请号: 201280022984.2 申请日: 2012-06-04
公开(公告)号: CN103534943B 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 申济湜;金德焕;金哲秀;朴浩洙;孙尚郁;宋寅相;李文喆;崔婧 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H03H9/17 分类号: H03H9/17
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 刘灿强;郭鸿禧
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 提供了一种体声波谐振器(BAWR)。BAWR可以包括设置在基底上的空气空腔、包括压电层的体声波谐振单元以及反射从压电层产生的谐振频率的波的反射层。
搜索关键词: 压电层 体声波谐振器 声波谐振器 空气空腔 谐振单元 谐振频率 反射层 体声波 基底 种体 反射
【主权项】:
一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基底;空气空腔,设置在第一电极下方;体声波谐振单元,设置在空气空腔之上,包括压电层、设置所述压电层之下的所述第一电极、设置所述压电层之上的第二电极;以及第一反射层,设置在第二反射层与第二电极之间;第二反射层,设置在第一反射层与空气空腔之间,其中,第二反射层具有与第一反射层不同的声阻抗,使得因施加到第一电极和第二电极的信号而从压电层产生的谐振频率的波被第一反射层和第二反射层结合的结构所反射,其中,反射层中的至少一个具有用于补偿体声波谐振单元的频率温度系数的调制的物理属性。
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