[发明专利]硅芯线支架及多晶硅的制造方法有效
| 申请号： | 201280022814.4 | 申请日： | 2012-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN103517873A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 祢津茂义;黑泽靖志 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 金龙河;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在芯线支架(20)中形成有在主体的上表面具有开口部(22)且朝向下表面侧的芯线插入孔(21)，在该芯线插入孔(21)中插入硅芯线(5)。另外，形成有沿包含上述芯线插入孔(21)的中心轴(C)的假想平面(P)的狭缝状的间隙部(60)，该狭缝状的间隙部(60)成为从芯线插入孔(21)延伸到支架(20)主体的外侧面的间隙部。插入在该芯线插入孔(21)中的硅芯线(5)利用例如螺栓/螺母方式的固定构件(31)从侧面将支架(20)的主体的上部紧固，由此，以使间隙部(60)的间隔变窄的方式进行紧固并固定。 | ||
| 搜索关键词： | 硅芯线 支架 多晶 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种硅芯线支架，是在利用西门子法的多晶硅制造时使用的用于保持硅芯线的支架，其中，在所述支架的主体上设置有作为从上表面朝向下表面侧的孔部且用于插入所述硅芯线的芯线插入孔和作为位于包含所述芯线插入孔的中心轴的假想平面上的狭缝状的间隙部或位于与该假想平面平行的面上的狭缝状的间隙部且从所述芯线插入孔延伸到所述支架主体的外侧面的间隙部，具备以使所述间隙部的间隔变窄的方式进行紧固而进行插入在所述芯线插入孔内的所述硅芯线的固定的固定构件。
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