[发明专利]In2O3－SnO2－ZnO系溅射靶有效
| 申请号： | 201280022388.4 | 申请日： | 2012-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN103534382A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 糸濑将之;西村麻美;砂川美佐;笠见雅司;矢野公规 | 申请（专利权）人： | 出光兴产株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/00;C04B35/453;H01B5/14;H01L21/363 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射靶，其包含氧化物，所述氧化物含有铟元素（In）、锡元素（Sn）及锌元素（Zn）、和选自下述的X组中的1种以上的元素X，各元素的原子比满足下述式（1）～（4）。X组：Mg、Si、Al、Sc、Ti、Y、Zr、Hf、Ta、La、Nd、Sm；0.10≤In/（In＋Sn＋Zn）≤0.85 （1）；0.01≤Sn/（In＋Sn＋Zn）≤0.40 （2）；0.10≤Zn/（In＋Sn＋Zn）≤0.70 （3）；0.70≤In/（In＋X）≤0.99 （4）。（式中，In、Sn、Zn及X分别表示溅射靶中的各元素的原子比。） | ||
| 搜索关键词： | in sub sno zno 溅射 | ||
【主权项】：
一种溅射靶，其包含氧化物，所述氧化物含有铟元素（In）、锡元素（Sn）及锌元素（Zn）、和选自下述的X组中的1种以上的元素X，各元素的原子比满足下述式（1）～（4）；X组：Mg、Si、Al、Sc、Ti、Y、Zr、Hf、Ta、La、Nd、Sm0.10≤In/（In＋Sn＋Zn）≤0.85 （1）0.01≤Sn/（In＋Sn＋Zn）≤0.40 （2）0.10≤Zn/（In＋Sn＋Zn）≤0.70 （3）0.70≤In/（In＋X）≤0.99 （4）式中，In、Sn、Zn及X分别表示溅射靶中的各元素的原子比。
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