[发明专利]负型感光性树脂组合物、固化膜、分隔壁和黑色矩阵及其制造方法、滤色器以及有机EL元件有效
申请号: | 201280020872.3 | 申请日: | 2012-04-19 |
公开(公告)号: | CN103502888A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 高桥秀幸 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G03F7/031 | 分类号: | G03F7/031;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/075;H01L51/50;H05B33/12;H05B33/22 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种拒墨性良好且掩膜的线宽的重现良好的负型感光性树脂组合物和使用该组合物而得到的均质的分隔壁。一种负型感光性树脂组合物,其特征在于,其含有拒墨剂(A)、光聚合引发剂(B)以及碱可溶性树脂(C),所述拒墨剂(A)具有包含-CFXRf[X为氢原子、氟原子或三氟甲基,Rf为可以具有醚性氧原子的碳原子数20以下的、氢原子的至少1个被氟原子取代的氟烷基、或氟原子]或-(SiR1R2-O)n-SiR3R4R5[R1、R2、R3、R4为氢原子、烷基、环烷基或芳基,R5为氢原子或碳原子数1~10的有机基,n为1~200的整数]的侧链,所述聚合引发剂(B)为1分子内具有硝基的肟酯化合物。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 固化 隔壁 黑色 矩阵 及其 制造 方法 滤色器 以及 有机 el 元件 | ||
【主权项】:
一种负型感光性树脂组合物,其特征在于,其含有:拒墨剂(A),其具有包含下式(1)所示的基团或下式(2)所示的基团的侧链,光聚合引发剂(B),其为在1分子内具有硝基的肟酯化合物,以及碱可溶性树脂(C),‑CFXRf (1)‑(SiR1R2‑O)n‑SiR3R4R5 (2)式(1)中,X表示氢原子、氟原子或三氟甲基,Rf表示可以具有醚性氧原子的、氢原子的至少1个被氟原子取代的碳原子数20以下的氟烷基、或氟原子,式(2)中,R1、R2、R3和R4独立地表示氢原子、烷基、环烷基或芳基,R5表示氢原子或碳原子数1~10的有机基,n表示1~200的整数。
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