[发明专利]感放射线性组成物以及硬化膜及其形成方法有效
| 申请号： | 201280007859.4 | 申请日： | 2012-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103348289A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 铃木康伸;本田晃久;奥田务;上田二朗 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;C08F290/14;C08G77/14;C08G77/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种感放射线性组成物，其可形成以高水准且以良好的平衡而兼具对保护膜或层间绝缘膜的要求特性的硬化膜，且可利用无机碱显影液进行显影。本发明的感放射线性组成物含有以下的成分[A1]、成分[B]及成分[C]：[A1]使四乙氧基硅烷或其部分水解物、下述式(1)所表示的水解性硅烷化合物或其部分水解物、及下述式(2)所表示的水解性硅烷化合物或其部分水解物进行水解缩合而获得的聚硅氧烷；[B]具有2个以上的乙烯性不饱和基的化合物(其中成分[A1]除外)；[C]光自由基聚合起始剂。下述式中，R1及R3表示碳数1～6的烷基，R2表示碳数1～20的烷基等，m表示1～3的整数，n表示0～6的整数，x表示1～3的整数，y表示1～6的整数，z表示0～3的整数。 |
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| 搜索关键词： | 放射 线性 组成 以及 硬化 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感放射线性组成物，含有以下的成分[A1]、成分[B]及成分[C]：[A1]使四乙氧基硅烷或其部分水解物、下述式(1)所表示的水解性硅烷化合物或其部分水解物、及下述式(2)所表示的水解性硅烷化合物或其部分水解物进行水解缩合而获得的聚硅氧烷；[B]具有2个以上的乙烯性不饱和基的化合物(其中成分[A1]除外)；[C]光自由基聚合起始剂；[化1]![]()
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[式(1)中，R1表示碳数1～6的烷基，R2表示碳数1～20的烷基、碳数6～14的芳基或(甲基)丙烯酰氧基，m表示1～3的整数，n表示0～6的整数；式(2)中，R3表示碳数1～6的烷基，x表示1～3的整数，y表示1～6的整数，z表示0～3的整数]。
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