[发明专利]用于压缩工艺气体的气体系统

摘要

本发明涉及一种用于压缩工艺气体（18）的气体系统（10），所述气体系统具有第一压缩机级（20）和在第一压缩机级（20）之外的密封气体（17）以用于防止工艺气体（18）从第一处理机级（20）的泄漏部中逸出，其中第一压缩机级（20）包括抽吸侧（20a）和压力侧；所述气体系统具有至少一个第一管路（12）以用于将从气体系统（10）的位于第一压缩机级（20）下游的泄漏部中逸出的工艺气体（18）引回到第一压缩机级（20）的抽吸侧（20a）。此外，气体系统（10）具有至少一个第二管路（13）以用于引出从气体系统（10）中逸出的、至少由工艺气体（18）和密封气体（17）组成的气体混合物，其中至少一个第二管路（13）构成用于将逸出的气体混合物引回到第一压缩机级（20）的抽吸侧（20a）和/或引回到气体系统（10）中的在第一压缩机级（20）上游的部位。

主权项

一种用于压缩工艺气体(18)的气体系统(10)，所述气体系统(10)具有的第一压缩机级(20)和在所述第一压缩机级(20)之外的密封气体(17)以用于防止工艺气体(18)从所述第一压缩机级(20)的泄漏部中逸出，其中所述第一压缩机级(20)包括抽吸侧(20a)和压力侧(20b)；所述气体系统(10)具有至少一个第二管路(13)以用于引出从所述气体系统(10)中逸出的至少由工艺气体(18)和密封气体(17)组成的气体混合物，其中，所述至少一个第二管路(13)构成用于将逸出的所述气体混合物引回到所述气体系统(10)中的在所述第一压缩机级(20)上游的部位，其特征在于，设有至少一个第一管路(12)用于将从所述气体系统(10)的位于所述第一压缩机级(20)下游的泄漏部中逸出的工艺气体(18)引回到所述第一压缩机级(20)的所述抽吸侧(20a)，其中所述气体系统(10)中的在所述第一压缩机级(20)上游的所述部位是吸收器。