[发明专利]在处理系统中监控离子质量、能量与角度的技术和装置

摘要

一种用于监控具有离子能量且入射到衬底上的离子物种的角分布的飞行时间（TOF）离子感测器系统，其包括漂移管，其中离子感测器系统经配置以改变漂移管相对于衬底的平面的角度。漂移管具有第一端，所述第一端经配置以从离子物种接收离子脉冲，其中离子脉冲的较重离子和较轻离子以封包形式到达漂移管的第二端。离子检测器可设置在离子感测器的第二端处，其中离子检测器经配置以检测来源于离子脉冲且对应于各自不同离子质量的离子封包。

主权项

一种飞行时间离子感测器系统，其用于监控入射到衬底上且具有离子能量的离子物种的角分布，所述飞行时间离子感测器系统包括：漂移管，具有第一端，所述第一端经配置以从所述离子物种接收离子脉冲，其中所述离子脉冲的较重离子和较轻离子以封包形式到达所述漂移管的第二端，所述离子感测器系统经配置以改变所述漂移管相对于所述衬底的平面的角度；以及离子检测器，其设置在所述漂移管的所述第二端处，所述离子检测器经配置以检测来源于所述离子脉冲且对应于各自离子质量的所述离子封包。