[发明专利]用于形成太阳能电池用透明膜的溅射靶及其制造方法有效
| 申请号： | 201280004316.7 | 申请日： | 2012-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN103270191A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 山口刚;张守斌;近藤佑一 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/16;C04B35/453;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够对折射率低于AZO膜的ZnO-SiO2-Al2O3膜进行DC溅射的用于形成太阳能电池用透明膜的溅射靶及其制造方法。本发明的溅射靶由氧化物烧结体构成，所述氧化物烧结体具有如下成分组成，即相对于总金属成分量含有Al：0.3～4.0wt%、Si：6.0～14.5wt%，剩余部分由Zn及不可避免的杂质组成，该烧结体的组织中存在复合氧化物Zn2SiO4与ZnO。该溅射靶的制造方法具有如下工序：将Al2O3粉末、SiO2粉末及ZnO粉末混合成Al2O3：0.5～5.0wt%、SiO2：10～22wt%、剩余部分：由ZnO及不可避免的杂质组成，以此来作为混合粉末；及将所述混合粉末在真空中以热压进行烧结。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 太阳能电池 透明 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于形成太阳能电池用透明膜的溅射靶，其特征在于，由具有如下成分组成的氧化物烧结体构成，即相对于总金属成分量含有Al：0.3～4.0wt%、Si：6.0～14.5wt%，剩余部分由Zn及不可避免的杂质组成，该烧结体的组织中存在复合氧化物Zn2SiO4与ZnO。
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