[发明专利]透光性硬质薄膜有效
| 申请号： | 201280000487.2 | 申请日： | 2012-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN103370437A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 菅原卓哉;青岛光;姜友松;盐野一郎 | 申请（专利权）人： | 新柯隆株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种透过率和膜强度高的透光性硬质薄膜。本发明的透光性硬质薄膜由形成于基板(S)表面的层叠膜(102)构成，层叠膜(102)具有将SiO2层(104)和SiC层(106)交替地层叠多个而成的超晶格结构，整体膜厚为3000nm以上。各层(104、106)的每一层的膜厚为，SiO2层：5～30nm，SiC层：SiO2层的30～60％。 | ||
| 搜索关键词： | 透光 硬质 薄膜 | ||
【主权项】：
一种透光性硬质薄膜，是形成于基体的表面的具有透光性的硬质薄膜，其特征在于，由具有将SiO2层和SiC层交替地层叠多个而成的超晶格结构的层叠膜构成，每一层的膜厚为，SiO2层：5nm以上30nm以下，SiC层：SiO2层的30％以上60％以下，整体膜厚为3000nm以上。
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