[实用新型]一种微波天线

摘要

本实用新型公开了一种微波天线，包括小管径段、位于小管径段两侧的过渡段和与变管径段相连的大管径段。其中，小管径段和大管径段上的各处管径相等，过渡段的管径由小管径段向大管径段的方向逐渐增大。在本实用新型所提供的微波天线中，位于中间的小管径段的直径小于位于两端的大管径段的直径，增加了微波天线中间部分的电磁波能量强度，从而增加了石墨舟中间部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均匀性。

主权项

一种微波天线，其特征在于，包括等管径的小管径段、设置在所述小管径段两侧的过渡段和与所述过渡段相连接且等管径的大管径段；所述过渡段的管径由所述小管径段向所述大管径段的方向逐渐增大。