[实用新型]基于光电相移压电陶瓷驱动的纳米定位控制系统有效
| 申请号： | 201220678969.0 | 申请日： | 2012-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN202916711U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 梁宇恩;许素安;付祥 | 申请（专利权）人： | 浙江机电职业技术学院 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;G05B11/42 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 周涌贺 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于光电相移压电陶瓷驱动的纳米定位控制系统，包括高频相移信号发生器，高频相移信号发生器的S1端口依次连接激光器、迈克尔逊干涉仪、移动镜和压电陶瓷，所述高频相移信号发生器的S2端口依次连接混频器、数字PID调节器和压电陶瓷，所述S1端口与迈克尔逊干涉仪输出的S3端口之间连接有干涉仪测量电子柜，所述S3端口与混频器之间连接有光电探测器。本实用新型运用光电步进相移法控制压电陶瓷运动，定位系统位移精度和重复性不受压电陶瓷自身的非线性和蠕变的影响；该定位方法可溯源至国际度量衡委员会推荐的米定义标准；控制方法简单，控制系统带宽大，实时性强。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光电 相移 压电 陶瓷 驱动 纳米 定位 控制系统 | ||
【主权项】：
一种基于光电相移压电陶瓷驱动的纳米定位控制系统，包括高频相移信号发生器，其特征在于：所述高频相移信号发生器的S1端口依次连接激光器、迈克尔逊干涉仪、移动镜和压电陶瓷，所述高频相移信号发生器的S2端口依次连接混频器、数字PID调节器和压电陶瓷，所述S1端口与迈克尔逊干涉仪输出的S3端口之间连接有干涉仪测量电子柜，所述S3端口与混频器之间连接有光电探测器。
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