[实用新型]一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶伺服机构有效

专利信息
申请号: 201220663362.5 申请日: 2012-12-04
公开(公告)号: CN203049092U 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 滑喜宝 申请(专利权)人: 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B17/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶伺服机构,包括升降机构伺服电机,升降导轨,旋转机构伺服电机,籽晶夹持机构和称重系统,大大提高了自动化程度,降低了人员劳动强度,可以很好的解决引晶的稳定性问题,对于工艺培训和保证晶体质量的稳定性非常有利。
搜索关键词: 一种 新型 蓝宝石 晶体生长 籽晶 伺服 机构
【主权项】:
一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶伺服机构,包括升降机构伺服电机,升降导轨,旋转机构伺服电机,籽晶夹持机构和称重系统,其特征在于,所述升降机构伺服电机采用变频电机,转速从0‑30000rpm无级可调,所述升降导轨为丝杠结构,通过螺杆和螺母带动升降系统其它部件运动,升降速率0‑7000mm/h无级可调,所述旋转机构伺服电机采用变频电机,转速从0‑100rpm无级可调,所述籽晶夹持机构以钼为材质,使用锻造钼棒加工而成,纯度99.95%,是夹持籽晶的机构,所述称重系统为一圆环形压力传感器,传感器分辨率为0.01g,量程为0至200kg。
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