[实用新型]用于步进光刻设备的微位移机构有效
| 申请号： | 201220660693.3 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN203037993U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 彭绍辉 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/207 | 分类号： | G03F7/207 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 528300 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于步进光刻设备的微位移机构。其特点是：包括上楔形块(5)和下楔形块(4)，在这两个楔形块的斜面之间安装有至少2根滚针(6)，从而使两个楔形块能相对移动，其中在上楔形块(5)上固定有工件台的台板，而下楔形块(4)通过至少2根滚针(6)安装在工件台的底面(2)上，另外还包括一驱动机构(1)，该驱动机构(1)通过一丝杠(8)与下楔形块(4)连接。本实用新型是在步进光刻设备中，提供了一种楔块微位移方式的用于步进光刻设备的微位移机构，以便对精密工件台的台板部件相对于安装台板部件机构做相对垂直运动，来满足设备在曝光时需要的调平调焦要求，对焦准确并且速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 步进 光刻 设备 位移 机构 | ||
【主权项】：
一种用于步进光刻设备的微位移机构，其特征在于：包括上楔形块(5)和下楔形块(4)，在这两个楔形块的斜面之间安装有至少2根滚针(6)，从而使两个楔形块能相对移动，其中在上楔形块(5)上固定有工件台的台板，而下楔形块(4)通过至少2根滚针(6)安装在工件台的底面(2)上，从而使下楔形块(4)能沿该底面(2)移动，另外还包括一驱动机构(1)，该驱动机构(1)通过一丝杠(8)与下楔形块(4)连接，从而能将驱动机构(1)输出的回转运动转化为直线运动进而带动下楔形块(4)直线移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于彩虹（佛山）平板显示有限公司，未经彩虹（佛山）平板显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220660693.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种同步控制器及同步控制装置
- 下一篇：旋光仪及其电子目镜
