[实用新型]卡盘工装有效
申请号: | 201220586374.2 | 申请日: | 2012-11-08 |
公开(公告)号: | CN202921629U | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 万庆;李栋 | 申请(专利权)人: | 常州瑞择微电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 曾少丽 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种卡盘工装,所述的工装本体是金属材料制成,所述的工装本体是一体铸造成型,所述的工装本体上设置有四个工装孔。本实用新型提供了一种铁质一体卡盘工装,可有效改善同心度偏离、掩模版脱落的情况。 | ||
搜索关键词: | 卡盘 工装 | ||
【主权项】:
一种卡盘工装,其特征在于:所述的工装本体是金属材料制成,所述的工装本体是一体铸造成型,所述的工装本体上设置有四个工装孔。
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