[实用新型]斜排列式蒸发舟系统有效

专利信息
申请号: 201220580304.6 申请日: 2012-11-06
公开(公告)号: CN202936474U 公开(公告)日: 2013-05-15
发明(设计)人: 陈生贩;陈显东;江裕捺;陈生镇;陈发杰 申请(专利权)人: 上海宏昊企业发展有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 何新平
地址: 201409 上海市奉*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及机械技术领域,具体涉及一种真空镀膜机蒸发舟。斜排列式蒸发舟系统,包括一蒸发箱体,蒸发箱体上排列有至少两个蒸发舟,蒸发箱体上方为长方形结构,蒸发舟设有长方形开口;至少两个蒸发舟在蒸发箱体上方的长方形结构中斜向平行排布。传统的蒸发舟放置方式都是与长方形结构的宽度方向一致。这种排布方式因为在需要镀膜的膜体传送过程中,存在镀膜间隙,可能会存在镀层不均匀的问题,并且镀层厚度难以精确控制。会有较多金属蒸汽碰到蒸发舟壁,并凝固在上面。不便于提高金属蒸汽的利用率。采用本实用新型中的技术后,则解决了上述问题。
搜索关键词: 排列 蒸发 系统
【主权项】:
斜排列式蒸发舟系统,包括一蒸发箱体,所述蒸发箱体上排列有至少两个蒸发舟,其特征在于,所述蒸发箱体上方为长方形结构,所述蒸发舟设有长方形开口;至少两个所述蒸发舟在所述蒸发箱体上方的长方形结构中斜向平行排布。
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