[实用新型]悬臂伺服机械手有效
申请号: | 201220569187.3 | 申请日: | 2012-10-31 |
公开(公告)号: | CN202910644U | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 陈华轩;景建平;唐志稳;朱晓伟 | 申请(专利权)人: | 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 |
主分类号: | B23Q7/04 | 分类号: | B23Q7/04;B25J9/02;B25J15/08 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 马明渡 |
地址: | 215121 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种悬臂伺服机械手,其特征在于:由机架、X轴向驱动机构、Y轴向驱动机构、Z轴向驱动机构以及两工件夹爪组成;其中,所述Y轴向驱动机构包括两条Y轴向导轨、一Y轴向丝杠螺母机构以及Y轴向伺服电机;所述X轴向驱动机构包括一X轴向基座、一X轴向导轨、一X轴向丝杠螺母机构以及X轴向伺服电机;X轴向基座的一端经所述Y轴向导轨相对机架滑动连接,且与Y轴向丝杠螺母机构中的螺母固定连接;所述Z轴向驱动机构包括一Z轴向基座以及Z轴向驱动气缸,经所述X轴向导轨相对X轴向基座滑动连接;所述Z轴向驱动气缸设于Z轴向基座上,其作用杆沿Z轴向伸出与所述工作夹爪连接。本实用新型结构简单,故节省空间、成本较低、操作简易、维护方便。 | ||
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【主权项】:
一种悬臂伺服机械手,其特征在于:由机架、X轴向驱动机构、Y轴向驱动机构、Z轴向驱动机构以及两工件夹爪组成;其中,所述Y轴向驱动机构包括两条Y轴向导轨、一Y轴向丝杠螺母机构以及Y轴向伺服电机;所述两Y轴向导轨沿Y轴向并列设置于机架上;所述Y轴向丝杠螺母机构中的丝杠平行设于两Y轴向导轨之间,且其一端与所述Y轴向伺服电机的输出轴传动连接;所述X轴向驱动机构包括一X轴向基座、一X轴向导轨、一X轴向丝杠螺母机构以及X轴向伺服电机;X轴向基座为长条形,以其长度方向沿X轴向布置;X轴向基座的一端经所述Y轴向导轨相对机架滑动连接,且与Y轴向丝杠螺母机构中的螺母固定连接,而另一端延伸成悬臂状;所述X轴向导轨和X轴向丝杠螺母机构中的丝杠平行并列,并沿X轴向设置于X轴向基座上;所述X轴向丝杠螺母机构中的丝杠的一端与X轴向伺服电机的输出轴传动连接;所述Z轴向驱动机构包括一Z轴向基座以及Z轴向驱动气缸;所述Z轴向基座经所述X轴向导轨相对X轴向基座滑动连接,且与X轴向丝杠螺母机构中的螺母固定连接;所述Z轴向驱动气缸设有两个,沿所述X轴向导轨对称设于Z轴向基座上的两端,每个Z轴向驱动气缸的作用杆沿Z轴向伸出与一工作夹爪连接。
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