[实用新型]多晶硅铸锭炉测温装置有效
| 申请号： | 201220543872.9 | 申请日： | 2012-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN202936519U | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 吴学军;周凯平 | 申请（专利权）人： | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B11/00;C30B28/06;G01K7/01 |
| 代理公司： | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人： | 马长增;姚源 |
| 地址： | 753000 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种多晶硅铸锭炉测温装置，设置在多晶硅铸锭炉内部的下半部分，包括：热场件、热交换台底部保温层、闷盖、测温装置；测温装置包括：外套杆、内套杆、热电偶、锁紧套杆、信号输出端子；作业过程中，通过热场件的加热，使得热电偶将信号通过信号输出端子传递给PLC，PLC通过控制程序显示出温度值，可以测量到热场内部温度；便于作业人员及时调节工艺参数，保证硅锭能正常生长。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 测温 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉测温装置，其特征在于，包括：热场件、热交换台底部保温层、闷盖、测温装置；其中，闷盖设置在多晶硅铸锭炉下腔体的中心处，在闷盖上开有通孔，在多晶硅铸锭炉内部并且垂直正对该孔的热场件、热交换台底部保温层也开有通孔，测温装置穿过并固定在上述三处通孔位置，测温装置的顶部接触石墨坩埚底板。
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