[实用新型]用于制造光电模块的系统和设备有效
| 申请号： | 201220535049.3 | 申请日： | 2012-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN203398146U | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 安德烈·巴奇尼;马可·加乔托;托马斯·米切尔勒蒂;戴戈·唐尼;约翰·特勒;马可·玛伊奥利尼;安德烈·萨特雷图 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张欣 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本实用新型提供了用于制造光电模块的设备。本实用新型的实施例提供了一种用于制造光电模块的系统，该系统至少包括具有多个定位站的第一生产线和由至少一个定位站构成的第二生产线，在第一生产线的多个定位站中执行一系列第一处理操作，在第二生产线的至少一个定位站中至少执行第二处理操作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 光电 模块 系统 设备 | ||
【主权项】：
一种用于制造光电模块的系统，包括：第一生产线，其包括：两个以上定位站，其被沿着第一纵轴布置并且都适合于执行一个或多个光电模块处理操作；以及第二生产线，其包括：至少一个定位站，其与基本与所述第一纵轴平行的第二纵轴共线，其中，所述至少一个定位站适合于执行一个或多个光电模块处理操作。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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