[实用新型]多晶硅还原炉有效

专利信息
申请号: 201220514813.9 申请日: 2012-10-09
公开(公告)号: CN202849076U 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 赵纯源 申请(专利权)人: 内蒙古锋威硅业有限公司
主分类号: C01B33/021 分类号: C01B33/021
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 750336 内蒙古自治*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅还原炉,包括炉体(1)和底盘(2)。炉体(1)与底盘(2)之间采用法兰连接。底盘(2)上均匀安装有30对,即60个电极(3)。炉体(1)为带有夹套的双层结构,炉体(1)的内壁是银合金涂层。炉体(1)上对称分布有4个观察窗(4)。本实用新型的还原电耗小,单炉产量高,操作安全可靠,而且能使工作人员从外部清晰、准确地了解炉内的状况。
搜索关键词: 多晶 还原
【主权项】:
一种多晶硅还原炉,包括炉体(1)和底盘(2),其特征在于:炉体(1)与底盘(2)之间采用法兰连接;所述底盘(2)上沿均匀安装有30对,即60个电极(3);所述炉体(1)为带有夹套的双层结构,所述炉体(1)的内壁是银合金涂层;所述炉体(1)上对称分布有4个观察窗(4);电极(3)在底盘(2)上沿4个同心圆均匀分布,由内向外每个圆上的电极(3)数量依次为6个,12个,18个和24个。
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