[实用新型]MOCVD设备及其中的失电保护装置有效
| 申请号： | 201220495782.7 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN202840487U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 孙东曦;万红 | 申请（专利权）人： | 中晟光电设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H02H7/09 | 分类号： | H02H7/09;H02J9/06 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MOCVD设备及其中的失电保护装置，所述MOCVD设备包括用于放置晶片的托盘、和托盘直接接触并带动托盘转动的旋转轴、驱动旋转轴的电机，以及接收市电并至少向电机供电的交流电供电单元。所述失电保护装置包括不间断电源和控制单元，当供电异常时，由不间断电源的自身储备电量给电机和控制单元供电，使电机根据控制单元的控制命令按照正常的减速曲线停止，保证托盘的平稳停止，防止发生飞片、飞盘的情况发生，达到保护MOCVD设备安全的目的。 | ||
| 搜索关键词： | mocvd 设备 及其 中的 保护装置 | ||
【主权项】：
一种应用于MOCVD设备中的失电保护装置，所述MOCVD设备包括托盘（1）、和托盘（1）直接接触并带动托盘（1）转动的旋转轴（3）、驱动旋转轴（3）的电机（4），以及接收市电并至少向电机（4）供电的交流电供电单元（6），其特征在于：所述失电保护装置（10）包括不间断电源（5）和与不间断电源（5）相连的控制单元（7）；所述不间断电源（5）分别和交流电供电单元（6）以及电机（4）相连，用以在市电供应出现失电时通过自身储备电量给电机（4）和控制单元（7）供电，并将市电失电的信息发送给控制单元（7）；所述控制单元（7）和电机（4）相连，用以在接收到不间断电源（5）发送的市电失电的信息后，向电机（4）发送控制命令以使电机（4）逐渐降低自身转速至零。
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