[实用新型]一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备有效
| 申请号： | 201220492154.3 | 申请日： | 2012-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN202785671U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;姜大川;邹瑞洵 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于冶金提纯技术领域，特别涉及一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备。该设备中，水冷旋转杆穿过炉体底部与水冷托盘固定连接，散热板固定安装于水冷托盘之上，凝固保温装置放置于散热板之上，保温套筒套于凝固保温装置外围，保温套筒通过固定支架固定安装于炉体内壁，感应线圈套于保温套筒之外，落粉装置通过支撑架固定于炉体内部，且位于凝固保温装置正上方。本实用新型的显著效果是：在凝固尾声阶段，利用落料装置将硅粉均匀散落到硅熔体表面，硅粉作为形核剂使杂质含量较高的上层硅熔体迅速凝固，达到了反向诱导凝固提纯多晶硅的目的，具有提纯效果好，操作简单，可控性强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反向 诱导 凝固 提纯 多晶 设备 | ||
【主权项】：
一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备，由炉盖（1）、炉体（4）以及支撑基座（11）组成外部结构，其特征是：水冷旋转杆（13）穿过炉体（4）底部与水冷托盘（12）固定连接，散热板（10）固定安装于水冷托盘（12）之上，凝固保温装置放置于散热板（10）之上，保温套筒（7）套于凝固保温装置外围，保温套筒（7）通过固定支架（9）固定安装于炉体（4）内壁，感应线圈（8）套于保温套筒（7）之外，落粉装置（2）通过支撑架（3）固定于炉体（4）内部，且位于凝固保温装置正上方，机械泵（14）和罗茨泵（15）放置于炉体（4）之外，通过真空管道（16）连接，真空管道（16）一端通向炉体（4）内部。
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