[实用新型]一种3D曝光装置有效
| 申请号： | 201220487396.3 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202794850U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 朱婉平 | 申请（专利权）人： | 深圳市万佳原丝印器材有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518126 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种3D曝光装置，包括机台和设置在机台上的曝光区装置，曝光区装置包括壳体和设置在壳体内部上方的曝光器，曝光区装置两侧分别设置一个可沿同一水平面滑入或滑出壳体内的曝光台，曝光台包括底板、设置在底板上的玻璃台面、一端铰接于底板上的上盖，上盖下表面压贴有耐拉膜，底板内设置抽真空导管，上盖边缘与底板边缘密封连接，抽真空导管与抽真空装置连接，至少一个曝光台内的耐拉膜是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜。本实用新型的一种3D曝光装置结构简单、在可以实现3D精密曝光的同时，保证高效曝光出产率和曝光的光能量对曝光材料照射的同量一致性，保证精密曝光和出产产品质量一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种3D曝光装置，其特征在于：包括机台和设置在所述机台上的曝光区装置，所述曝光区装置包括壳体和设置在所述壳体内部上方的曝光器，所述曝光区装置两侧分别设置一个可沿同一水平面滑入或滑出所述壳体内的曝光台，所述曝光台包括底板、设置在底板上的玻璃台面、一端铰接于所述底板上的上盖，所述上盖下表面压贴有耐拉膜，所述底板内设置抽真空导管，所述上盖边缘与所述底板边缘密封连接，所述抽真空导管与抽真空装置连接，所述至少一个曝光台内的耐拉膜是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜。
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