[实用新型]一种蓝宝石LED图形衬底有效
| 申请号： | 201220470651.3 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN202957282U | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 陈立人;陈伟;刘慰华 | 申请（专利权）人： | 聚灿光电科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/20 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 张汉钦 |
| 地址： | 215123 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蓝宝石LED图形衬底及其制备方法，该衬底是基于蓝宝石平片衬底表面沉积DBR的基础上，采用ICP干法刻蚀制备各种图形结构。本实用新型的蓝宝石LED图形衬底实际上为在蓝宝石衬底上预先沉积DBR反射层的新型图形衬底，相比传统背镀DBR有更加明显的优势，不仅能有效提高光取出效率，而且能优化外延层的横向生长方式，提高外延材料的晶格质量，具有非常实用的商业价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 led 图形 衬底 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石LED图形衬底，其特征在于：包括蓝宝石衬底、沉积在所述的蓝宝石衬底上的分布布拉格反射镜DBR层、沉积于所述的分布布拉格反射镜DBR层上方的GaN层，所述的分布布拉格反射镜DBR层由多层周期结构的薄膜构成并刻蚀形成有柱状图形阵列，所述的图形阵列露出于所述的GaN层的上表面。
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