[实用新型]具有气流限制机构的等离子体处理系统有效
| 申请号： | 201220465081.9 | 申请日： | 2012-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN202839532U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 丁雪苗 | 申请（专利权）人： | 珠海宝丰堂电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 曾旻辉;胡杰 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有气流限制机构的等离子体处理系统，属于等离子处理技术领域。包括外框、电极板、气体输送管道、抽真空系统、置料夹具；所述电极板、置料夹具、气体输送管道上设有的出气孔均位于外框所形成的真空腔体内；置料夹具为框架型结构，位于两块对应的电极板中间，所述气体输送管道位于置料夹具与电极板之间,其出气孔与所述置料夹具框架相对。本实用新型的具有气流限制机构的等离子体处理系统，能够均匀的进行等离子体处理，避免进行等离子体处理时产生的不均匀问题。还可以提高等离子体处理的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 气流 限制 机构 等离子体 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种具有气流限制机构的等离子体处理系统，包括外框、电极板、气体输送管道、抽真空系统、置料夹具；所述电极板、置料夹具、气体输送管道上设有的出气孔均位于外框所形成的真空腔体内；其特征在于，所述置料夹具为框架型结构，位于两块对应的电极板中间，所述气体输送管道位于置料夹具与电极板之间,其出气孔与所述置料夹具框架相对。
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