[实用新型]一种用于硅铸锭炉的固液界面测定装置

摘要

本实用新型公开了一种用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，包括：用于与硅铸锭炉中的固态多晶硅接触的石英棒；第一活塞杆处于伸出状态的气缸，第一活塞杆与石英棒连接；用于驱动石英棒上下直线运动的驱动装置；用于感应石英棒与固态多晶硅接触所产生的作用力的压力传感器；分别与驱动装置和压力传感器电连接，用于接收压力传感器所采集的信号，并根据接收到的信号控制驱动装置驱动石英棒上升或下降的PLC。本实用新型的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置的结构简单、制造成本低、使用方便并且测量结构准确，并能自动获得硅铸锭炉内熔融硅的深度，而无需测量人员频繁的手动在硅铸锭炉内插入石英棒并进行读数，使测量人员得以解放。

主权项

一种用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，包括：用于与硅铸锭炉中的固态多晶硅接触的石英棒；第一活塞杆处于伸出状态的气缸，所述第一活塞杆与所述石英棒连接；用于驱动所述气缸从而带动所述石英棒上下直线运动的驱动装置；安装于所述气缸的第一活塞杆与所述石英棒之间，用于感应所述石英棒与所述固态多晶硅接触所产生的作用力的压力传感器；分别与所述驱动装置和所述压力传感器电连接，用于接收所述压力传感器所采集的信号，并根据接收到的所述压力传感器的信号控制所述驱动装置带动所述石英棒上升或下降的PLC。