[实用新型]硅片自动上料机有效

专利信息
申请号: 201220418459.X 申请日: 2012-08-22
公开(公告)号: CN202749356U 公开(公告)日: 2013-02-20
发明(设计)人: 查俊;冯晓瑞;戴秋喜 申请(专利权)人: 库特勒自动化系统(苏州)有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 代理人: 黄威;郭迎侠
地址: 215000*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种硅片自动上料机,包括:支架;用于盛放硅片的承载盒,设于支架的端部;用于驱动承载盒上下运动的提升装置,设于承载盒下方;用于输送硅片的输送装置,设于支架中部;用于将硅片从承载盒搬运至输送装置的吸附搬运装置,设于支架上并位于承载盒与输送装置上方,吸附搬运装置包括:用于吸附硅片的真空吸附装置;上下驱动装置;水平驱动装置。本实用新型克服现有的太阳能电池生产线硅片上料效率低且硅片的光电转化效率低且容易损坏的缺点,提供一种可大大提高上料效率、提高硅片光电转化效率并降低硅片损坏率的硅片自动上料机。
搜索关键词: 硅片 自动 上料机
【主权项】:
一种硅片自动上料机,其特征在于,包括:支架;用于盛放所述硅片的承载盒,所述承载盒设于所述支架上;用于驱动所述承载盒上下运动的提升装置,所述提升装置设于所述承载盒下方;用于输送所述硅片的输送装置,所述输送装置设于所述支架中部;用于将所述硅片从所述承载盒搬运至所述输送装置的吸附搬运装置,所述吸附搬运装置设于所述支架上并位于所述承载盒与所述输送装置上方,所述吸附搬运装置包括:用于吸附所述硅片的真空吸附装置;上下驱动装置,与所述真空吸附装置连接以驱动所述真空吸附装置上下运动;水平驱动装置,与所述上下驱动装置连接以驱动所述上下驱动装置及所述真空吸附装置在水平方向运动。
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