[实用新型]硅片自动上料机有效
| 申请号: | 201220418459.X | 申请日: | 2012-08-22 | 
| 公开(公告)号: | CN202749356U | 公开(公告)日: | 2013-02-20 | 
| 发明(设计)人: | 查俊;冯晓瑞;戴秋喜 | 申请(专利权)人: | 库特勒自动化系统(苏州)有限公司 | 
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 | 
| 代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;郭迎侠 | 
| 地址: | 215000*** | 国省代码: | 江苏;32 | 
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种硅片自动上料机,包括:支架;用于盛放硅片的承载盒,设于支架的端部;用于驱动承载盒上下运动的提升装置,设于承载盒下方;用于输送硅片的输送装置,设于支架中部;用于将硅片从承载盒搬运至输送装置的吸附搬运装置,设于支架上并位于承载盒与输送装置上方,吸附搬运装置包括:用于吸附硅片的真空吸附装置;上下驱动装置;水平驱动装置。本实用新型克服现有的太阳能电池生产线硅片上料效率低且硅片的光电转化效率低且容易损坏的缺点,提供一种可大大提高上料效率、提高硅片光电转化效率并降低硅片损坏率的硅片自动上料机。 | ||
| 搜索关键词: | 硅片 自动 上料机 | ||
【主权项】:
                一种硅片自动上料机,其特征在于,包括:支架;用于盛放所述硅片的承载盒,所述承载盒设于所述支架上;用于驱动所述承载盒上下运动的提升装置,所述提升装置设于所述承载盒下方;用于输送所述硅片的输送装置,所述输送装置设于所述支架中部;用于将所述硅片从所述承载盒搬运至所述输送装置的吸附搬运装置,所述吸附搬运装置设于所述支架上并位于所述承载盒与所述输送装置上方,所述吸附搬运装置包括:用于吸附所述硅片的真空吸附装置;上下驱动装置,与所述真空吸附装置连接以驱动所述真空吸附装置上下运动;水平驱动装置,与所述上下驱动装置连接以驱动所述上下驱动装置及所述真空吸附装置在水平方向运动。
            
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            该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于库特勒自动化系统(苏州)有限公司,未经库特勒自动化系统(苏州)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
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                    H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
                
            H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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