[实用新型]一种工件架TCO玻璃膜面检测装置有效
| 申请号: | 201220415974.2 | 申请日: | 2012-08-21 |
| 公开(公告)号: | CN202796875U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
| 发明(设计)人: | 陈健健;吕勇;李先林;代飞顺;魏雪林;王策 | 申请(专利权)人: | 海南汉能光伏有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
| 地址: | 570125 海南省海口*** | 国省代码: | 海南;66 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种工件架TCO玻璃膜面检测装置,包括具有底板和侧板的安装座;安装于所述侧板上的滑杆以及安装于所述底板上的测量夹,所述测量夹包括铰接在一起的第一夹臂和第二夹臂,所述测量夹用于与TCO玻璃接触的一端的第一夹臂和第二夹臂上分别设置有多个互不接触的电极触点,另一端与滑杆相连,并可以随滑杆的左右滑动实现带有电极触头一端的张开和闭合;用于将所述第一夹臂上的两个不同的电极触头、第二夹臂上的不同的电极触头以及指示灯串联成独立测量单元的导线;用于为所述独立测量单元提供能源的电源,所述独立测量单元均与所述电源并联。该测量装置可以明显提高检测速度,并且可以有效避免对TCO玻璃的漏检。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 工件 tco 玻璃 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种工件架TCO玻璃膜面检测装置,用于对放置于工件架的气体室(03)内的TCO玻璃(06)膜面进行检测,包括:安装座,所述安装座至少包括长度不小于所述工件架长度的底板(5)和设置于所述底板(5)上且与底板(5)垂直的侧板(8),所述侧板(8)的板面与所述底板(5)的长边平行,所述底板(5)上还设置有与所述工件架的气体室(03)数量一致并分别与每个气体室(03)相对应的支撑柱;设置于所述支撑柱上的测量夹,所述测量夹包括铰接于同一支撑柱的第一夹臂(3)和第二夹臂(2),且所述测量夹一端伸出所述底板(5),另一端靠近所述侧板(8),且伸出底板(5)一端的第一夹臂(3)和第二夹臂(2)的外侧分别设置有多个用于与TCO玻璃(06)膜面相接触的电极触头(4),所述电极触头(4)互不接触;滑杆(14),所述滑杆(14)可左右滑动地设置于所述侧板(8)与所述测量夹相对的一面上,且所述滑杆(14)至少一端伸出所述侧板(8),所述测量夹靠近所述侧板(8)的一端与所述滑杆(14)相连,且可随着所述滑杆(14)的滑动实现另一端的张开和闭合;导线(9),所述导线(9)将每个测量夹的第一夹臂(3)上的两个不同的电极触头、第二夹臂(2)上的两个不同电极触头以及指示灯分别串联为独立测量单元;用于为所述独立测量单元提供能源的电源(1),所述独立测量单元均与所述电源(1)并联。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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