[实用新型]双压电变形镜有效
| 申请号： | 201220297458.4 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN202661714U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 徐宏来;何忠武;雒仲祥;李国会;向汝建 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 卿诚;吴彦峰 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种双压电变形镜，用于光学系统中的波像差校正，包括反射镜、压电晶片和变形镜支撑件，其压电晶片由两片负极面相粘合的压电晶片一和压电晶片二构成，压电晶片一正极面粘接在反射镜背面，压电晶片二正极面分布有分电极，压电晶片一和压电晶片二的电极上连接电极引线，电极引线另一端连接供给电源。本实用新型可根据输入波前的激光束特性，在压电晶片二正极面刻蚀不同排布的电极，通过对不同电极施加电压，使镜面发生变形，实现波前校正。该变形镜可拟合不同类型的像差，波前校正空间分辨率高，结构简单，成本低、工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 变形 | ||
【主权项】：
一种双压电变形镜，包括反射镜（1）、压电晶片和变形镜支撑件（7），其特征在于：压电晶片由两片负极面相粘合的压电晶片一（2）和压电晶片二（3）构成，压电晶片一（2）正极面粘接在反射镜（1）背面，压电晶片二（3）正极面分布有分电极，压电晶片一（2）和压电晶片二（3）的电极上连接电极引线（4,5,6），电极引线（4,5,6）另一端连接供给电源。
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