[实用新型]一种可调整真空度的真空镀膜机有效
| 申请号： | 201220275466.9 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN202688430U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 刘黎明;陈军;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可调整真空度的真空镀膜机，包括真空腔体和低温泵，特点是还包括可控制开口度的插板阀，所述插板阀包括阀体和阀板，所述阀体和阀板密封连接，所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接，另一端与所述低温泵的冷端固定连接。本实用新型在保证工作效率的情况下，可以将真空腔体的真空度控制在一定范围，而不影响低温泵的使用周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调整 真空 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种可调整真空度的真空镀膜机，包括真空腔体和低温泵，其特征在于：还包括可控制开口度的插板阀，所述插板阀包括阀体和阀板，所述阀体和阀板密封连接，所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接，另一端与所述低温泵的冷端固定连接。
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