[实用新型]晶圆研磨液加速混搅结构

摘要

一种晶圆研磨液加速混搅结构，在研磨晶圆前阶段所设的研磨液混搅缸内，设有抽送泵及加速混搅分歧管，该研磨液混搅缸顶部盖封，只留从研磨反应液定量筒注入研磨反应液的注入管，研磨液混搅缸底伸出通往研磨机的研磨液出料管，抽送泵嵌入研磨液混搅缸内底中央下凹空间内埋平，于抽送泵顶竖接加速混搅分歧管，加速混搅分歧管由一竖直管临近顶管口两旁下斜伸出莲蓬喷头的中空管体，竖直管底管口套围抽送泵喷口，莲蓬喷头的喷出正面以一定散射组合斜角均等布设至少二个喷孔，将注入管伸到竖直管顶管口，直接在研磨液混搅缸内产生高速喷流导漩循环搅拌，提升动力搅拌速度扩大搅拌范围，减少缸边低流漩积聚产生研磨反应液结晶卡积的缺点。

主权项

一种晶圆研磨液加速混搅结构，不同于现有研磨晶圆前阶段所设研磨液混搅缸内设置由叶片泵搅拌的研磨液混合搅拌结构，其特征在于：于研磨晶圆前阶段所设的研磨液混搅缸内，设有抽送泵及加速混搅分歧管，该研磨液混搅缸顶伸入研磨反应液定量筒注入研磨反应液的注入管，且研磨液混搅缸内底中央下凹空间内嵌入抽送泵，此抽送泵设有流入口、抽送回流出口管及最终泵出管，并于抽送泵顶竖接加速混搅分歧管，此加速混搅分歧管由一竖直管临近顶管口两旁下斜伸出莲蓬喷头的中空管体，而莲蓬喷头的喷出正面以一定散射组合斜角均等布设至少二个喷孔，且竖直管底管口套围抽送泵顶部中央开设的流入口，并将抽送回流出口管接至加速混搅分歧管的顶管口，且最终泵出管接至研磨机。