[实用新型]一种类单晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201220236700.7 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN202558970U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 林洪峰;李书森;冯媛;方志文;刘兴翀;兰洵;张凤鸣 | 申请（专利权）人： | 天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C30B11/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谭新民;谢敏 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种类单晶硅铸锭炉，包括炉体（1），炉体（1）内设置有一个隔热笼体（2），所述的隔热笼体（2）中设置有一个热交换台（6），热交换台（6）上放置有一个石英坩埚（4），所述的石英坩埚（4）的上面、下面以及四周分别分布顶部加热器（8）、底部加热器（11）和侧面加热器（9），热交换台（6）的下端还设置有一个水冷盘（7），水冷盘（7）通过管道连接外部。本实用新型的有益效果是：采用顶、侧和底加热器单独控制技术，能够合理分配各加热器输出功率，精确控制炉内热场分布，从而获得最优化的晶体生长条件；采用底部水冷盘散热技术，热量定向传递，形成垂直的温度梯度，有利于精确控制长晶速率。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 单晶硅 铸锭 | ||
【主权项】：
一种类单晶硅铸锭炉，其特征在于，包括炉体（1），炉体（1）内设置有一个隔热笼体（2），所述的隔热笼体（2）中设置有一个热交换台（6），热交换台（6）上放置有一个石英坩埚（4），所述的石英坩埚（4）的上面、下面以及四周分别分布顶部加热器（8）、底部加热器（11）和侧面加热器（9），热交换台（6）的下端还设置有一个水冷盘（7），水冷盘（7）通过管道连接外部。
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