[实用新型]刻蚀电极机中的下电极装置有效
| 申请号： | 201220156300.5 | 申请日： | 2012-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN202816864U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 游利 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏省泰州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 刻蚀电极机中的下电极装置，包括承载盘（1）、支撑座（2），所述的支撑座（2）上面设置有承载盘（1），承载盘（1）与支撑座（2）按对应位置焊接为一体。本实用新型结构简单，操作方便，具有对晶圆片吸附能力、有绝缘性，同时对刻蚀过程产生的热量有冷却功能，能够保证加工质量，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 电极 中的 装置 | ||
【主权项】：
刻蚀电极机中的下电极装置，包括承载盘（1）、支撑座（2），其特征在于：所述的支撑座（2）上面设置有承载盘（1），承载盘（1）与支撑座（2）按对应位置焊接为一体。
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